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    行業新聞
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    美國ASTM D5127電子及半導體工業用純水水質要求

    來源:蘭州純水設備??????2020/9/23 10:33:38??????點擊:

    美國ASTM D5127電子及半導體工業用純水水質要求

                

    TypeE-1

    TypeE-11

    TypeE-1.2

    TyPeE-2

    TyPeE-3

    TyPeE-4

    線寬(μm)        

    1.0-0.5

    0.5-0.25

    0.25-0.18

    5-1

    >5

    -

    電阻率          

    18.2

    18.2

    18.2

    17.5

    12

    0.5

    熱源(EU/ml)     

    0.03

    0.03

    0.03

    0.25

    -

    -

    TOC(μgL)     

    5

    2

    1

    50

    300

    1000

    溶解氧DO(μgL)

    1

    1

    1

    -

    -

    -

    蒸發殘渣(μgL)

    1

    0.5

    0.1

    -

    -

    -

    微粒(μm)(SEM檢測)

     

     

     

           

             

             

    0.10.2       

    1000

    1000

    200

           

             

             

    0.20.5       

    500

    500

    l00

      3000 

             

             

    0.51.0       

    50

    50

    1

           

      10000  

             

    10              

    -

    -

    -

           

             

      100000 

    微粒(μm)(在線檢測)

               

             

             

           

             

             

        0.050.1  

      500      

      500    

      100    

           

             

             

        0.10.2   

      300      

      300    

      50     

           

             

             

        0.20.3   

      50       

      50     

      20     

           

             

             

        0.30.5   

      20       

      20     

      10     

           

             

             

        0.5       

     4          

        4     

      1       

           

             

             

     細菌           

               

             

             

           

             

             

        100ml  Sample

               1

            1 

         1    

           

             

             

        1L Sample    

               1

            1 

        0.1 

        10 

        10000

      100000

     (μm)        

               

             

             

           

             

             

        總硅         

               3

        0.5 

        0.5 

        10 

        50   

      1000   

        溶解硅        

               1

        0.1 

        0.05

           

             

             

     離子(μgL)    

               

             

             

           

             

       

        NH4          

    0.1       

    0.1     

    0.05    

    -   

    -     

            

        Br           

    0.1         

    0.05      

    0.02

    -    

    -         

           

        Cl            

    0.l         

    0.05       

    0.02      

    1      

    10       

    1000     

        F           

    0.1       

    0.05       

    0.03

    -    

    -    

    -     

        N03         

    0.1         

    0.05       

    0.02

    1      

    5        

    500      

        N02         

    0.l         

    0.05      

    0.02

    -   

    -     

    -       

        P04        

    0.1     

    0.05       

    0.02

    1      

    5        

    500      

        S04         

    0.1      

    0.05        

    0.02

    1      

    5        

    500       

        Al         

    0.05       

    0.02

    0.005   

    -    

    -    

    -    

        Ba         

    0.05       

    0.02      

    0.001   

    -   

    -   

    -   

        B           

    0.05       

    0.02

    0.005   

    -   

    -   

    -   

        Ca        

    0.05      

    0.02

    0.002   

    -     

    -      

    -     

        Cr        

    0.05       

    0.02

    0.002   

    -   

    -       

    -      

        Cu        

    0.05      

    0.02

    0.002   

    1      

    2        

    500      

        Fe        

    0.05       

    0.02

    0.002   

    -   

    -   

    -   

        Pb         

    0.05       

    0.02

    0.005   

    -    

    -    

    -    

        Li         

    0.05       

    0.02      

    0.003   

    -   

    -   

    -   

        Mg        

    0.05      

    0.02

    0.002   

    -    

    -    

    -    

        Mn        

    0.05       

    0.02

    0.002   

    -   

    -      

    -      

        K          

    0.05        

    0.02

    0.002     

    1      

    2        

    500      

        K         

    0.05      

    0.02

    0.005     

    2      

    5        

    500      

        Na          

    0.05     

    0.02

    0.005    

    1      

    5        

    1000     

        Sr          

    0.05      

    0.02

    0.00l   

    -      

    -     

     -        

        zi          

    0.05

    0.02

    0.002   

    1      

    5        

    500      

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